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一、低真空機(jī)組：
　　工作壓力高，排氣量大，多用于真空輸送、真空浸漬等。主泵正排量手動干油泵常用的往復(fù)泵、水環(huán)泵、油封機(jī)械泵、螺桿真空泵，噴射泵、分子篩吸附泵都可以勝任。但根據(jù)泵送氣體的清潔度、濕度等條件，需要除塵器，氣水油水分離器、干燥捕集器等設(shè)施。
　　二、中真空機(jī)組：
　　適用于涂布機(jī)、真空冶煉、真空熱處理、醫(yī)藥化工、電焊等行業(yè)需要高抽速并獲得中等真空的各種真空系統(tǒng)。過去多由羅茨真空泵油封機(jī)械泵、羅茨真空水環(huán)真空泵、雙羅茨真空泵組成，隨著螺桿真空泵，等無油手動干油泵的崛起，羅茨真空泵、螺桿真空泵等無油真空機(jī)組逐漸增多，適應(yīng)性更廣。
　　三、高真空機(jī)組
　　該裝置的主泵通常為油擴(kuò)散泵、擴(kuò)散增壓泵、分子泵、鈦泵、低溫冷凝泵等。這些泵不能直接在大氣中工作，因此需要配備預(yù)抽泵或前置維護(hù)泵。一些擴(kuò)散泵高真空泵機(jī)組還配有前級儲氣罐，以防止氣壓波動并提高機(jī)組性能。